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Noise Analysis and Performance Improvement of a MEMS Fabry-Perot Seismic Accelerometer 期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2022, 卷号: 22, 期号: 1
作者:  Zhao, Minghui;  Qi, Yonghong;  Zhang, Xiaopeng;  Li, Bo;  Jiang, Zhuangde;  Wei, Xueyong
收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2022/04/28
INTERFEROMETER  SEISMOMETER  INTENSITY  SILICON