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Ecofriendly silicon dioxide chemical vapor deposition for semiconductor devices using nitrogen monoxide gas source 期刊论文
OPTICAL MATERIALS, 2024, 卷号: 148
作者:  Jeong, Yeojin;  Song, Jang-Kun;  Kim, Yong-Sang;  Chung, Yung-Bin;  Jeon, Woo-Seok;  Jo, Jungyun;  Kim, Youngkuk;  Pham, Duy Phong;  Yi, Junsin;  Nguyen, Minh Phuong
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